氧化鈰拋光液是以微米或亞微米級CeO2為磨料的氧化鈰研磨液,該研磨液具有分散性好、粒度細、粒度分布均勻、硬度適中等特點(diǎn)。二氧化鈰微球粒度標準物質(zhì)GBW12024,GBW12025,GBW12026適用于寶石,高精密光學(xué)儀器,光學(xué)鏡頭,集成電路等方面的精密拋光。以期打破精密儀器的拋光依賴(lài)進(jìn)口的局面。
目前國際上微電子器件的精密拋光大多為國外公司所壟斷,雖然拋光精度高,但成本也很高,發(fā)展國內自主知識產(chǎn)權的拋光技術(shù)被提上議事日程。納米級氧化鈰拋光液的研發(fā),使替代國外產(chǎn)品成為可能,存在巨大的市場(chǎng)空間。